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Equipo Multifuente de deposicion de recubrimientos duros - Magnetron Sputtering AJA ATC 1500 |
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Con Diametro Ø interno de 15" y altura de 17" |
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Sistema de vacio y válvulas |
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El sistema de vacio está conformado por:
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Bomba mecánica marca Alcatel y que está conectada a
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Bomba Turbo molecular V-250 marca Varian con su controlador y su válvula de venteo Turbo-V
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Válvula / control de presión
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Controlador de presión automático (VAT) / Válvula de compuerta (Isolation gate valve)
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Fuente Sputtering Magnetron Pulverizacion catódica |
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Tres Fuentes A320-UA marca AJA con 2" de diametro del blanco o target |
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Fuente de potencia RF de 500 W, 115 V
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Fuentes de potencia DC de 500 W, 115 V
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Fuente de potencia RF de 100 W, 120 VAC (para substrato bias)
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Para la medición de vacío, el equipo cuenta con los siguientes implementos:
- Baratron
- Ion gauge
- Convectron
Todos estos componentes vienen con su controlador de medición.
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Sistema de RGA con su bomba de vacío (turbo pump V70 LP, marca Varian) y su bomba mecánica.
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- Portasubstratos con calentador de bombillas halógenas por radiación hasta 500 ºC y su respectivo controlador de movimientos rotacional y en eje Z.
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Sistema de control de interconexiones |
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- Caja de distribución de potencia con 208 V, 40 A, 60 Hz, sistema controlador con switch de potencia, agua, vacío y todo los controladores para llevar a cabo el buen funcionamiento del equipo.
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